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涡旋真空泵是一种高速涡旋压缩型真空泵,适用于要求高真空度和高泵速的场合。它具有快速启动、低噪音、无油和低维护成本等优点,广泛应用于半导体、光学薄膜和太阳能电池制造等领域。
在半导体制造中需要使用高真空环境,以便在纯净环境中制造无尘半导体产品。爱德华真空泵在这些领域中被广泛应用,例如:半导体制造设备中的真空泵、离子注入设备、化学气相沉积和物理气相沉积等。
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